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题名:
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飞秒激光共振吸收微纳制造机理与实验研究 / 赵新宇 , |
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ISBN:
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978-7-5710-1019-5 价格： CNY98.00 |
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载体形态:
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157页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 长沙 出版社： 湖南科学技术出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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飞秒激光微纳制造作为一种新兴的高精密加工技术已经成为当前微小尺寸高精度制造的研究热点, 应用于越来越多的工程领域。但是人们仍不十分清楚飞秒激光与材料相互作用机理, 这制约飞秒激光的应用。本研究主要针对一种基于入射激光光子能量与被加工靶材电子跃迁能级差相等或相近时能够有效提高飞秒激光精密加工效率的共振吸收效应制造方法, 进行了机理上的电子动力学仿真和烧蚀效率实验, 以阐明共振吸收制造的微观机理, 同时探究该方法在实际工程应用中的影响因素和加工规律。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TG665 版次： |