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题名:
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基于原子力显微镜的纳米机械加工与检测技术 / 董申，孙涛，闫永达著 , |
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ISBN:
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978 7 5603 3861 3 价格： |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 哈尔滨工业大学出版社 出版日期： 2012.12 |
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内容提要:
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本书介绍作者及其团队多年来在使用原子力显微镜的基础上，研究利用其探针作为加工工具，构建了一套三维微结构的纳米机械加工系统，以及用这套加工系统开展纳米加工实验与基础理论研究的成果，同时吸收了国内外在这方面的最新研究成果。主要内容包括绪论、纳米加工技术相关理论基础、原子力显微技术的基本原理及工作模式、采用原子力显微镜探针的纳米机械加工技术、加工工具的操作与调控、加工过程的建模与仿真、基于原子力显微镜探针的纳米加工技术的应用、未来展望等。 |
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主题词:
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工业技术>金属学与金属工艺>金属切削加工及机床 |
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中图分类法:
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TG5 版次： |