题名:	纳米集成电路制造工艺 / 张汝京等编著 ,
ISBN:	978 7 302 36027 8 价格：
出版发行:	出版地：出版社：清华大学出版社出版日期： 2014.07
内容提要:	本书介绍纳米集成电路的制造工艺，共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面，很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员，有一定的参考价值。
主题词:	工业技术>无线电电子学、电信技术>微电子学、集成电路（IC）>一般性问题>制造工艺
中图分类法:	TN405 版次：